标准详情与信息
标准名称：硅片表面金属元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
标准号：GB/T 39145-2020
发布日期：2020-10-11
实施日期：2021-09-01
管理部门：国家标准化管理委员会
行业分类：冶金
注:硅片表面的金属元素含量以每平方厘米的原子数计。
起草单位与起草人
起草单位包含：南京国盛电子有限公司、有研半导体材料有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、上海合晶硅材料有限公司、有色金属技术经济研究院、无锡华瑛微电子技术有限公司、龙腾半导体有限公司、厦门科鑫电子有限公司。
起草人包含：骆红 、潘文宾 、赵而敬 、孙燕 、张海英 、徐新华 、温子瑛 、胡金枝 、李素青 、马林宝 、李俊需 。
*本网站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。