GB/T 6621-2009 硅片表面平整度测试方法

标准详情与信息

标准名称：硅片表面平整度测试方法

标准号：GB/T 6621-2009

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-06-01

管理部门：国家标准化管理委员会

行业分类：电气工程

起草单位与起草人

起草单位包含：上海合晶硅材料有限公司。

起草人包含：徐新华 、严世权 、王珍 。

*本网站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。