GB/T 24577-2009 热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物

标准详情与信息

标准名称：热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物

标准号：GB/T 24577-2009

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-06-01

管理部门：国家标准化管理委员会

行业分类：电气工程

起草单位与起草人

起草单位包含：信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子科技集团公司第四十六研究所。

起草人包含：王奕 、褚连青 、李静 。

*本网站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。