GB/T 24578-2009 硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法

标准详情与信息

标准名称：硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法

标准号：GB/T 24578-2009

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-06-01

管理部门：国家标准化管理委员会

行业分类：电气工程

起草单位与起草人

起草单位包含：有研半导体材料股份有限公司、万向硅峰电子有限公司。

起草人包含：孙燕 、李俊峰 、楼春兰 、卢立延 、张静 、翟富义 。

*本网站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。