GB/T 24578-2015 硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法

标准详情与信息

标准名称：硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法

标准号：GB/T 24578-2015

发布日期：2015-12-10

实施日期：2017-01-01

管理部门：国家标准化管理委员会

行业分类：冶金

起草单位与起草人

起草单位包含：有研新材料股份有限公司、万向硅峰电子股份有限公司、浙江省硅材料质量检验中心。

起草人包含：孙燕 、李俊峰 、楼春兰 、潘紫龙 、朱兴萍 。

*本网站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。