标准详情与信息
标准名称：微机电系统（MEMS）技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法
标准号：GB/T 38446-2020
发布日期：2020-03-06
实施日期：2020-10-01
管理部门：国家标准化管理委员会
行业分类：电子学
此标准适用于厚度在50nm到数微米之间且长度和厚度的比值大于300的样品，也可用于MEMS产品带状薄膜结构的质量监控。
起草单位与起草人
起草单位包含：北京大学、中机生产力促进中心、北京智芯传感科技有限公司、无锡华润上华科技有限公司、中北大学、北京必创科技股份有限公司。
起草人包含：张威 、李海斌 、张亚婷 、朱悦 、夏长奉 、石云波 、陈得民 、马书嫏 、程红兵 、周浩楠 。
*本网站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。