标准详情与信息
标准名称：微机电系统（MEMS）技术 基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法
标准号：GB/T 34899-2017
发布日期：2017-11-01
实施日期：2018-05-01
管理部门：国家标准化管理委员会
行业分类：电子学
此标准适用于微机电系统（MEMS）结构表面残余应力、相对静态应力、相对动态应力的拉曼光谱法测试。
起草单位与起草人
起草单位包含：中北大学、中机生产力促进中心。
起草人包含：石云波 、唐军 、程红兵 、崔建功 、李海斌 、朱悦 。
*本网站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。