GB/T 26111-2010 微机电系统（MEMS）技术 术语

标准详情与信息

标准名称：微机电系统（MEMS）技术 术语

标准号：GB/T 26111-2010

发布日期：2011-01-10

实施日期：2011-10-01

管理部门：国家标准化管理委员会

行业分类：电子学

起草单位与起草人

起草单位包含：中机生产力促进中心、中国电子科技集团第13研究所、清华大学、上海交通大学、中北大学等。

起草人包含：丁红宇 、刘伟 、张苹 、崔波等 。

*本网站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。