GB/T 26113-2010 微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则

标准详情与信息

标准名称：微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则

标准号：GB/T 26113-2010

发布日期：2011-01-10

实施日期：2011-10-01

管理部门：国家标准化管理委员会

行业分类：电子学

起草单位与起草人

起草单位包含：中机生产力促进中心、西安交通大学、天津大学、中原工学院。

起草人包含：丁红宇 、张苹 、刘伟 、蒋庄德 、景蔚萱等 。

*本网站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。