标准详情与信息
标准名称：集成电路用 ArF 干式光刻胶
标准号：T/ICMTIA 5.1-2020
发布日期：2020-12-31
实施日期：2021-03-01
行业分类：C266 专用化学产品制造
本文件规定了ArF干式光刻胶的要求、试验方法、检测标准及包装、运输、存储要求。
起草单位与起草人
主要起草人：许从应、毛智彪、马潇、顾大公、陈伟琴、李珊珊
起草单位：宁波南大光电材料有限公司
范围：本文件适用于集成电路用 ArF 干式光刻胶。
*本网站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。