标准详情与信息
标准名称：集成电路用ArF光刻胶光刻检测方法
标准号：T/ICMTIA 5.3-2020
发布日期：2020-12-31
实施日期：2021-03-01
行业分类：C266 专用化学产品制造
本文件规定了ArF光刻胶的光刻检测要求及方法、检测标准及包装、运输、存储及环保要求。
起草单位与起草人
主要起草人：许从应、毛智彪、马潇、顾大公、李珊珊
起草单位：宁波南大光电材料有限公司
范围：本文件适用于集成电路用ArF光刻胶。
*本网站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。