GB/T 16878-1997 用于集成电路制造技术的检测图形单元规范

标准详情与信息

标准名称：用于集成电路制造技术的检测图形单元规范

标准号：GB/T 16878-1997

发布日期：1997-06-20

实施日期：1998-03-01

管理部门：国家标准化管理委员会

行业分类：电子学

起草单位与起草人

起草单位包含：中国科学院缩微电子中心。

*本网站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。