SJ/T 11763-2020 半导体制造设备人机界面规范

标准详情与信息

标准名称：半导体制造设备人机界面规范

标准号：SJ/T 11763-2020

发布日期：2020-12-09

实施日期：2021-04-01

管理部门：工业和信息化部

行业分类：

起草单位与起草人

起草单位包含：北京北方华创微电子装备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、北方华创科技集团股份有限公司等

起草人：付金生、冯亚彬、程朝阳 等

*本网站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。