标准详情与信息
标准名称：半导体制造用气体处理指南
标准号：GB/T 34971-2017
发布日期：2017-11-01
实施日期：2018-02-01
管理部门：国家标准化管理委员会
行业分类：化工技术
此标准适用于半导体制造用气体的处理。
起草单位与起草人
起草单位包含：中昊光明化工研究设计院有限公司、西南化工研究设计院有限公司、高麦仪器公司、广东华特气体股份有限公司、东莞市联臣电子科技有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海市计量测试技术研究院。
起草人包含：孙福楠 、牛艳东 、廖恒易 、杜汉盛 、王鸿 、方华 、陈鹰 、周鹏云 。
*本网站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。