标准详情与信息
标准名称：碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法
标准号：GB/T 41153-2021
发布日期：2021-12-31
实施日期：2022-07-01
管理部门：国家标准化管理委员会
行业分类：冶金
注2:碳化硅单晶中钒杂质含量的测定可参照此标准进行，测定范围为钒含量不小于1x1013cm-3c。
起草单位与起草人
起草单位包含：中国电子科技集团公司第四十六研究所、有色金属技术经济研究院有限责任公司、山东天岳先进科技股份有限公司。
起草人包含：马农农 、何友琴 、陈潇 、刘立娜 、何烜坤 、李素青 、张红岩 。
*本网站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。