GB/T 41765-2022 碳化硅单晶位错密度的测试方法

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GB/T 41765-2022 碳化硅单晶位错密度的测试方法

标准详情与信息

标准名称:碳化硅单晶位错密度的测试方法

标准号:GB/T 41765-2022

发布日期:2022-10-12

实施日期:2023-05-01

管理部门:国家标准化管理委员会

行业分类:冶金

此标准适用于晶面偏离{0001}面、偏向{1120}方向0°~8°的碳化硅单晶位错密度的测试。

起草单位与起草人

起草单位包含:北京天科合达半导体股份有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司。

起草人包含:彭同华 、佘宗静 、娄艳芳 、王大军 、赵宁 、王波 、郭钰 、杨建 、李素青 。

*本网站标准资料仅供参考,使用标准请以正式出版的标准版本为准。