SJ/T 11502-2015 碳化硅单晶抛光片规范

标准详情与信息

标准名称：碳化硅单晶抛光片规范

标准号：SJ/T 11502-2015

发布日期：2015-04-30

实施日期：2015-10-01

管理部门：工业和信息化部

行业分类：

起草单位与起草人

起草单位包含：中国电子科技集团公司第四十六研究所、北京天科合达蓝光半导体有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院等

起草人：丁丽、郑红军、蔺娴 等

*本网站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。