标准详情与信息
标准名称：微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法
标准号：GB/T 42897-2023
发布日期：2023-08-06
实施日期：2023-12-01
管理部门：国家标准化管理委员会
行业分类：电子学
此标准适用于采用微电子工艺制造的纳米厚度膜抗拉强度测试。
起草单位与起草人
起草单位包含：北京大学、中机生产力促进中心有限公司、中国电子技术标准化研究院、北京燕东微电子科技有限公司、厦门市智慧健康研究院有限公司、宁波瑞成包装材料有限公司、四川富生电器有限责任公司、深圳市美思先端电子有限公司、无锡韦感半导体有限公司、广州奥松电子股份有限公司、江门市润宇传感器科技有限公司。
起草人包含：张大成 、杨芳 、李根梓 、顾枫 、刘鹏 、李凤阳 、王旭峰 、高程武 、陈艺 、于志恒 、华璇卿 、刘若冰 、张彦秀 、王清娜 、邵峥 、李强 、宏宇 、赵成龙 、张宾 、李海全 。
*本网站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。