标准详情与信息
标准名称：集成电路材料产业技术创新联盟气体基础规范
标准号：T/ICMTIA 1-2019
发布日期：2019-04-17
实施日期：2019-10-10
行业分类：C266 专用化学产品制造
本标准规范了集成电路用气体的检测方法及检验报告的制作，包装与存储要求、安全和环保要求，以及生产过程的基础管理要求等。
起草单位与起草人
主要起草人：郑秋艳，李翔宇，丁成，孙江涛，计燕秋，孙建。
起草单位：中国船舶重工集团公司第七一八研究所，江苏南大光电材料股份有限公司，大连保税区科利德化工科技开发有限公司。
范围：本标准规范了集成电路制造用气体的生产、研发和使用的管理要求及相关测试程序，是气体生产管理和使用的指南。
*本网站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。