T/ICMTIA 2-2019 集成电路用过氧化氢

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标准详情与信息

标准名称:集成电路用过氧化氢

标准号:T/ICMTIA 2-2019

发布日期:2019-04-17

实施日期:2019-10-10

行业分类:C266 专用化学产品制造

本标准规定了集成电路用过氧化氢产品的性状要求、技术规格和指标;含量测定、色度测定、酸度测定、总有机碳测定、阴离子测定、金属离子测定、颗粒测定等测定方法;还规定了检验规则,及标志…

起草单位与起草人

主要起草人:刘兵、钱森林、王洪华、傅华、高小云、康劲、葛军、赵健、柴春玲、赵晓东、张惠平。

起草单位:苏州晶瑞化学股份有限公司、同济大学、北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司、中芯国际集成电路制造(北京)有限公司、黎明化工研究设计院有限责任公司。

范围:本标准规定了集成电路用过氧化氢的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。

*本网站标准资料仅供参考,使用标准请以正式出版的标准版本为准。