标准信息
标准号：IEC 62047-37:2020
版本：1.0
标准来源：IEC
标准发布组织：IEC
国际组织机构：TC 47/SC 47F
发布日期：2020-04-28
IEC 62047-37:2020 Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 37: Environmental test methods of MEMS piezoelectric thin films for sensor application
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