SJ/T 11853-2022 正压悬浮区熔单晶硅炉

标准详情与信息

标准名称：正压悬浮区熔单晶硅炉

标准号：SJ/T 11853-2022

发布日期：2022-10-20

实施日期：2023-01-01

主管部门：工业和信息化部

行业分类：

起草单位与起草人

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