JC/T 2133-2012 半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法

标准详情与信息

标准名称：半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法

标准号：JC/T 2133-2012

发布日期：2012-12-28

实施日期：2013-06-01

管理部门：工业和信息化部

行业分类：

起草单位与起草人

起草单位包含：中国科学院上海硅酸盐研究所

起草人：陈奕睿、屈海云 等

*本网站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。