GB/T 26070-2010 化合物半导体抛光晶片亚表面损伤的反射差分谱测试方法

标准详情与信息

标准名称：化合物半导体抛光晶片亚表面损伤的反射差分谱测试方法

标准号：GB/T 26070-2010

发布日期：2011-01-10

实施日期：2011-10-01

管理部门：国家标准化管理委员会

行业分类：冶金

起草单位与起草人

起草单位包含：中国科学院半导体研究所。

起草人包含：陈涌海 、赵有文 、提刘旺 、王元立 。

*本网站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。