标准详情与信息
标准名称：微机电系统（MEMS）技术 薄膜力学性能的鼓胀试验方法
标准号：GB/T 44919-2024
发布日期：2024-11-28
实施日期：2024-11-28
管理部门：国家标准委
行业分类：电子学
此标准描述了窗口薄膜的鼓胀测试方法。试样由微米／纳米结构薄膜材料制备，包括金属、陶瓷和聚合物等薄膜，用于微机电系统（MEMS)、微机械等领域。薄膜厚度范围为0.1μm~10μm。正方形和长方形窗口宽度范围0.5mm~4mm，圆形窗口直径范围0.5mm~4mm。
此标准适用于常温环境条件下，对窗口薄膜试样施加均匀压力进行弹性模量和残余应力测试。
起草单位与起草人
起草单位包含：中国科学院微电子研究所、中机生产力促进中心有限公司、苏州容启传感器科技有限公司、武汉大学、北京大学、昆山昆博智能感知产业技术研究院有限公司、苏州晶方半导体科技股份有限公司、苏州慧闻纳米科技有限公司、工业和信息化部电子第五研究所、深圳市美思先端电子有限公司、东南大学、芯联集成电路制造股份有限公司、中关村光电产业协会、华东电子工程研究所(中国电子科技集团公司第三十八研究所)、上海交通大学、明石创新（烟台）微纳传感技术研究院有限公司、武汉高德红外股份有限公司。
起草人包含：周维虎 、李根梓 、孙宏霖 、刘胜 、霍树春 、高成臣 、焦斌斌 、陈立国 、杨剑宏 、张平平 、陈志文 、陈思 、马龙全 、黄庆安 、聂萌 、谢红梅 、陈晓梅 、卢永红 、张红旗 、刘景全 、高峰 、黄晟 。
*本网站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。