标准详情与信息
标准名称：微机电系统（MEMS）技术 MEMS材料微柱压缩试验方法
标准号：GB/T 44839-2024
发布日期：2024-10-26
实施日期：2025-02-01
管理部门：国家标准委
行业分类：电子学
此标准描述了微柱压缩试验方法，用于MEMS 材料压缩特性的高精度、高重复性测量，且试样制造难度适中；测量试样单向压缩应力-应变的关系，得到试样压缩弹性模量和屈服强度。
试样是通过微加工技术在刚性（或高刚度）基体上制造的圆柱，其高径比（高度与直径的比值）大于3为宜。此标准适用于金属、陶瓷、高分子等材料制备的高度小于100μm微柱的测试。
起草单位与起草人
起草单位包含：中国科学院微电子研究所、中机生产力促进中心有限公司、苏州容启传感器科技有限公司、武汉大学、北京大学、上海交通大学、昆山昆博智能感知产业技术研究院有限公司、苏州晶方半导体科技股份有限公司、东南大学、苏州慧闻纳米科技有限公司、中关村光电产业协会、工业和信息化部电子第五研究所、昆山双桥传感器测控技术有限公司、芯联集成电路制造股份有限公司、深圳市道格特科技有限公司。
起草人包含：周维虎 、李根梓 、孙宏霖 、刘胜 、霍树春 、高成臣 、刘景全 、陈立国 、杨剑宏 、陈志文 、焦斌斌 、黄庆安 、聂萌 、张平平 、陈晓梅 、卢永红 、陈思 、王冰 、谢红梅 、刘志广 。
*本网站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。