GB/T 43965-2024 电子级正硅酸乙酯

本地下载
下载需要10积分,会员免费下载。
GB/T 43965-2024 电子级正硅酸乙酯

标准详情与信息

标准名称:电子级正硅酸乙酯

标准号:GB/T 43965-2024

发布日期:2024-04-25

实施日期:2024-11-01

管理部门:国家标准委

行业分类:电子学

此标准规定了半导体行业用电子级正硅酸乙酉旨的技术要求、检验规则、型式试验、标志、包装、运输及贮存的要求,描述了试验方法、分析方法与测定结果评价。

此标准适用于沉积二氧化硅的电子级正硅酸乙酯。

起草单位与起草人

起草单位包含:金宏气体股份有限公司、湖北新蓝天新材料股份有限公司、武汉新硅科技潜江有限公司、江苏南大光电材料股份有限公司、南大光电半导体材料有限公司、中国电子技术标准化研究院、浙江中宁硅业股份有限公司、内蒙古兴洋科技股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、江阴润玛电子材料股份有限公司、浙江衢州硅宝化工有限公司、湖北江瀚新材料股份有限公司、浙江开化合成材料有限公司、广州赛西标准检测研究院有限公司。

起草人包含:孙猛 、金向华 、赵俊莎 、肖俊平 、李楷东 、吴怡然 、曹可慰 、赵斌 、陶刚义 、孙明璐 、陈德义 、冯琼华 、向冲 、王成 、黄天次 、万烨 、张园园 、郭树虎 、戈士勇 、戈烨铭 、何珂 、李冲合 、甘俊 、陈道伟 、张明英 。

*本网站标准资料仅供参考,使用标准请以正式出版的标准版本为准。