标准详情与信息
标准名称：表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定硅片表面元素污染
标准号：GB/T 40110-2021
发布日期：2021-05-21
实施日期：2021-12-01
管理部门：国家标准化管理委员会
行业分类：化工技术
——采用VPD（气相分解）样品制备方法得到的原子表面密度介于5X108atoms/cm2~5X1012atoms/cm2之间的污染元素（见3.4）。
起草单位与起草人
起草单位包含：中国计量科学研究院、华南理工大学。
起草人包含：王海 、张艾蕊 、王梅玲 、任丹华 、徐昕荣 、范燕 。
*本网站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。