标准详情与信息
标准名称：表面化学分析 二次离子质谱 硅中硼深度剖析方法
标准号：GB/T 40109-2021
发布日期：2021-05-21
实施日期：2021-12-01
管理部门：国家标准化管理委员会
行业分类：化工技术
此标准适用于硼原子浓度范围1 × 1016atoms/cm3~1×1020atoms/cm3的单晶硅、多晶硅或非晶硅样品，溅射弧坑深度在50nm及以上。
起草单位与起草人
起草单位包含：中国电子科技集团公司第四十六研究所。
起草人包含：马农农 、何友琴 、陈潇 、张鑫 、王东雪 、李展平 。
*本网站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。