GB/T 41064-2021 表面化学分析 深度剖析 用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱、俄歇电子能谱和二次离子质谱中深度剖析溅射速率的方法

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GB/T 41064-2021 表面化学分析 深度剖析 用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱、俄歇电子能谱和二次离子质谱中深度剖析溅射速率的方法

标准详情与信息

标准名称:表面化学分析 深度剖析 用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱、俄歇电子能谱和二次离子质谱中深度剖析溅射速率的方法

标准号:GB/T 41064-2021

发布日期:2021-12-31

实施日期:2022-07-01

管理部门:国家标准化管理委员会

行业分类:化工技术

起草单位与起草人

起草单位包含:清华大学、中国石油大学(北京)。

起草人包含:姚文清 、段建霞 、杨立平 、王雅君 、李展平 、徐同广 、王岩华 。

*本网站标准资料仅供参考,使用标准请以正式出版的标准版本为准。