标准详情与信息
标准名称：集成电路制造设备术语
标准号：GB/T 40577-2021
发布日期：2021-10-11
实施日期：2022-05-01
管理部门：国家标准化管理委员会
行业分类：电子学
此标准适用于集成电路制造设备的设计开发、生产和应用，也适用于集成电路制造设备的科研、教学和出版工作。
起草单位与起草人
起草单位包含：中国电子技术标准化研究院、浙江晶盛机电股份有限公司、中电科电子装备集团有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、中微半导体设备（上海）股份有限公司、上海微电子装备（集团）股份有限公司、东莞市中镓半导体科技有限公司、江苏卓远半导体有限公司。
起草人包含：张军华 、冯亚彬 、曹可慰 、曹建伟 、裴会川 、朱亮 、周哲 、武小娟 、杜若昕 、唐彩红 、丁晓民 、傅林坚 、魏唯 、田涛 、刘英斌 、李国平 、王宏智 。
*本网站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。