标准详情与信息
标准名称：刻蚀机用硅电极及硅环
标准号：GB/T 41652-2022
发布日期：2022-07-11
实施日期：2023-02-01
管理部门：国家标准化管理委员会
行业分类：电气工程
此标准适用于p拉硅单晶加工成的刻蚀机用直径200mm~450mm的硅电极及硅环。
起草单位与起草人
起草单位包含：有研半导体硅材料股份公司、山东有研半导体材料有限公司、新美光（苏州）半导体科技有限公司、浙江海纳半导体有限公司。
起草人包含：库黎明 、孙燕 、闫志瑞 、张果虎 、夏秋良 、潘金平 。
*本网站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。