标准详情与信息
标准名称：微机电系统（MEMS）技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法
标准号：GB/T 42158-2023
发布日期：2023-03-17
实施日期：2023-07-01
管理部门：国家标准化管理委员会
行业分类：电子学
此标准适用于MEMS结构设计和MEMS结构加工后的几何形状评估。
起草单位与起草人
起草单位包含：苏州市质量和标准化院、中机生产力促进中心有限公司、苏州揽芯微纳科技有限公司、东南大学、苏州市标准化协会、美满芯盛（杭州）微电子有限公司、深圳市中图仪器股份有限公司、四川富生电器有限责任公司、深圳市美思先端电子有限公司、中国合格评定国家认可中心、深圳市道格特科技有限公司。
起草人包含：张硕 、顾枫 、李根梓 、沈俊杰 、俞骁 、周再发 、王敏锐 、贾建国 、许百宏 、许克宇 、王志远 、刘志广 。
*本网站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。