标准详情与信息
标准名称：硅片流动图形缺陷的检测 腐蚀法
标准号：GB/T 43315-2023
发布日期：2023-11-27
实施日期：2024-06-01
管理部门：国家标准化管理委员会
行业分类：冶金
此标准适用于电阻率大于1Ω·cm的硅片流动图形缺陷的检测。
起草单位与起草人
起草单位包含：中环领先（徐州）半导体材料有限公司、山东有研半导体材料有限公司、中环领先半导体材料有限公司、浙江海纳半导体股份有限公司、厦门万明电子有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、麦斯克电子材料股份有限公司、浙江旭盛电子有限公司。
起草人包含：朱志高 、陈俊宏 、陈凤林 、高海棠 、李素青 、朱晓彤 、由佰玲 、吕莹 、潘金平 、张海英 、胡晓亮 、方丽霞 、陈跃骅 、黄景明 。
*本网站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。