标准详情与信息
标准名称:硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法
标准号:GB/T 1557-2018
发布日期:2018-09-17
实施日期:2019-06-01
管理部门:国家标准化管理委员会
行业分类:冶金
此标准适用于室温电阻率大于0.1cm的N型硅单晶和室温电阻率大于0.5cm的P型硅单晶中间隙氧含量的测定。以常温红外设备测试时,氧含量(原子数)测试范围从1X1016cm-3到硅中间隙氧的最大固溶度;以低温红外设备测试时,氧含量(原子数)的测试范围从0.5X1015cm-3到硅中间隙氧的最大固溶度。
起草单位与起草人
起草单位包含:新特能源股份有限公司、有研半导体材料有限公司、亚洲硅业(青海)有限公司、宜昌南玻硅材料有限公司、隆基绿能科技股份有限公司、内蒙古盾安光伏科技有限公司、峨嵋半导体材料研究所、北京合能阳光新能源技术有限公司。
起草人包含:银波 、夏进京 、邱艳梅 、刘国霞 、柴欢 、赵晶晶 、刘文明 、姚利忠 、王海礼 、邓浩 、高明 、郑连基 、陈赫 、石宇 、杨旭 、肖宗杰 。
*本网站标准资料仅供参考,使用标准请以正式出版的标准版本为准。
