GB/T 14144-2009 硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法

标准详情与信息

标准名称：硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法

标准号：GB/T 14144-2009

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-06-01

管理部门：国家标准化管理委员会

行业分类：电气工程

起草单位与起草人

起草单位包含：峨嵋半导体材料厂。

起草人包含：杨旭 、江莉 。

*本网站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。