GB/T 32278-2015 碳化硅单晶片平整度测试方法

标准详情与信息

标准名称：碳化硅单晶片平整度测试方法

标准号：GB/T 32278-2015

发布日期：2015-12-10

实施日期：2017-01-01

管理部门：国家标准化管理委员会

行业分类：冶金

起草单位与起草人

起草单位包含：北京天科合达蓝光半导体有限公司、中国科学院物理研究所。

起草人包含：陈小龙 、郑红军 、张玮 、郭钰 。

*本网站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。