标准详情与信息
标准名称：集成电路用六氯乙硅烷
标准号：T/ICMTIA 3-2020
发布日期：2020-02-24
实施日期：2020-04-24
行业分类：C266 专用化学产品制造
本标准规定了集成电路用六氯乙硅烷的技术要求，检测方法，包装与运输及安全的要求。
起草单位与起草人
主要起草人：赵雄、万烨、严大洲、林俊元、崔日、李军、常欣、赵宇、张园园、郭树虎、张啸虎。
起草单位：洛阳中硅高科技有限公司、江苏南大光电材料股份有限公司、江苏雅克科技股份有限公司、中巨芯科技有限公司。
范围：本标准适用于以多晶硅副产六氯乙硅烷为原料提纯或化工合成的集成电路用六氯乙硅烷。
集成电路用六氯乙硅烷主要用于半导体行业氧化硅膜、氮化硅膜的低温低压沉积工艺中，也是优良的硅氧烷前驱和光学纤维原料。*本网站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。