标准详情与信息
标准名称：氧化镓单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法
标准号：T/ZSA 231-2024
发布日期：2024-05-15
实施日期：2024-05-16
行业分类：C389 其他电气机械及器材制造
内容简要 本文件描述了利用双晶X射线衍射仪测试氧化镓单晶片摇摆曲线及其半高宽的方法。本文件适用于熔体法、液相法及气相法生长的β相氧化镓单晶片，对前述单晶片进行化学或机械抛光后的样品同样适…
起草单位与起草人
主要起草人包含：李培刚、宫学源、闫方亮、李龙、杨丽霞、王进进、朱勋、郑红军、刘祎晨、刘紫洋。
起草单位：中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、北京镓创科技有限公司、北京聚睿众邦科技有限公司、北京邮电大学、北京聚仪共享科技有限公司。
范围：本文件描述了利用双晶X射线衍射仪测试氧化镓单晶片摇摆曲线及其半高宽的方法。本文件适用于熔体法、液相法及气相法生长的β相氧化镓单晶片，对前述单晶片进行化学或机械抛光后的样品同样适用于此方法。
*本网站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。