T/IAWBS 001-2021 碳化硅单晶

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标准详情与信息

标准名称:碳化硅单晶

标准号:T/IAWBS 001-2021

发布日期:2021-09-16

实施日期:2021-09-23

行业分类:C398 电子元件及电子专用材料制造

碳化硅作为重要的宽禁带半导体材料,与硅和砷化镓等传统半导体相比,在热导率、击穿场强、饱和电子漂移速率、键合能和化学稳定性等方面具有明显的优势,是制作高温、高频、高压、高功率以及…

起草单位与起草人

主要起草人:佘宗静、王大军、彭同华、王波、刘春俊、杨建

起草单位:中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、北京天科合达半导体股份有限公司。

范围:本文件规定了4H及6H碳化硅单晶的必要的相关性术语和定义、产品分类、技术要求、检测方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。

本文件适用于物理气相传输法制备的4H及6H碳化硅单晶。

产品主要用于制作半导体照明、电力电子器件、射频微波器件及LED发光器件的外延衬底。

*本网站标准资料仅供参考,使用标准请以正式出版的标准版本为准。