标准详情与信息
标准名称：微纳加工 基于激光诱导应变的大面积表面三维微纳结构加工方法
标准号：T/BSPT 001-2018
发布日期：2018-06-20
实施日期：2018-07-01
行业分类：M731 自然科学研究和试验发展
表面微纳结构展现出许多独特的光电磁等特性，已在许多领域得到了广泛的应用。
起草单位与起草人
主要起草人：刘前、张浩然、郭传飞、葛广路
起草单位：国家纳米科学中心，南方科技大学
范围：本标准规定了基于激光诱导应变的大面积表面三维微纳结构加工方法。
本标准适用于在晶元级表面上，利用激光诱导调控多层膜体系的应变结构，设计并制备各种表面三维微纳结构。*本网站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。