SJ/T 10627-1995 通过测量间隙氧含量的减少表征硅片氧沉淀特性的方法

标准详情与信息

标准名称：通过测量间隙氧含量的减少表征硅片氧沉淀特性的方法

标准号：SJ/T 10627-1995

发布日期：1995-04-22

实施日期：1995-10-01

主管部门：电子工业部。

行业分类：

起草单位与起草人

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