标准详情与信息
标准名称：扩散炉能源消耗规范
标准号：SJ/T 11451-2022
发布日期：2022-10-20
实施日期：2023-01-01
管理部门：工业和信息化部
行业分类：
起草单位与起草人
起草单位包含：北京北方华创微电子装备有限公司、中国电子技术标准化研究院、晶澳太阳能科技股份有限公司、株洲中车时代半导体有限公司、英利能源（中国）有限公司、北京赛西认证有限责任公司
起草人：李补忠、吴秀祥、孙朋涛、张颖、郝晓明、赵永猛、刘月雷、张红妹、张生春、李琳
*本网站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。