SJ/T 11761-2020 200mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范

标准详情与信息

标准名称：200mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范

标准号：SJ/T 11761-2020

发布日期：2020-12-09

实施日期：2021-04-01

管理部门：工业和信息化部

行业分类：

起草单位与起草人

起草单位包含：上海微电子装备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、中微半导体设备（上海）有限公司等

起草人：胡松立、郑教增、冯亚彬 等

*本网站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。