YS/T 1031-2015 化学气相沉积炉

标准详情与信息

标准名称：化学气相沉积炉

标准号：YS/T 1031-2015

发布日期：2015-04-30

实施日期：2015-10-01

主管部门：工业和信息化部

行业分类：制造业

起草单位与起草人

起草单位包含：湖南顶立科技有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所等

起草人：戴煜、 胡祥龙、 胡高健等

*本网站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。