SJ/T 11516-2015 薄膜晶体管（TFT）用掩模版规范

标准详情与信息

标准名称：薄膜晶体管（TFT）用掩模版规范

标准号：SJ/T 11516-2015

发布日期：2015-04-30

实施日期：2015-10-01

管理部门：工业和信息化部

行业分类：

起草单位与起草人

起草单位包含：深圳清溢光电股份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院

起草人：万承华、张沛、熊启龙 等

*本网站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。