SJ/T 11498-2015 重掺硅衬底中氧浓度的二次离子质谱测量方法

标准详情与信息

标准名称：重掺硅衬底中氧浓度的二次离子质谱测量方法

标准号：SJ/T 11498-2015

发布日期：2015-04-30

实施日期：2015-10-01

管理部门：工业和信息化部

行业分类：

起草单位与起草人

起草单位包含：信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司等

起草人：何友琴、马农农、何秀坤 等

*本网站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。