YS/T 980-2014 高纯三氧化二镓杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法

标准详情与信息

标准名称：高纯三氧化二镓杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法

标准号：YS/T 980-2014

发布日期：2014-10-14

实施日期：2015-04-01

管理部门：工业和信息化部

行业分类：

起草单位与起草人

起草单位包含：峨嵋半导体材料研究所、南京中锗科技股份有限公司等

起草人：刘爱华、孙平 等

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