GB/T 15909-1995 电子工业用气体 硅烷（SiH4）

标准详情与信息

标准名称：电子工业用气体 硅烷（SiH4）

标准号：GB/T 15909-1995

发布日期：1995-12-20

实施日期：1996-08-01

管理部门：国家标准化管理委员会

行业分类：化工技术

起草单位与起草人

起草单位包含：化工部西南化工研究院。

*本网站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。