GB/T 6616-1995 半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测定 非接触涡流法

标准详情与信息

标准名称：半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测定 非接触涡流法

标准号：GB/T 6616-1995

发布日期：1995-04-18

实施日期：1995-12-01

管理部门：国家标准化管理委员会

行业分类：

起草单位与起草人

起草单位包含：上海有色金属研究所。

*本网站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。